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扫描电镜不同类型二次电子的特点

分类:公司新闻 发布时间:2022-01-12 233次浏览

  我们就将原来只能从定义的角度进行区分的SE1、SE2、SE3,转变成出射角度...

  我们就将原来只能从定义的角度进行区分的SE1、SE2、SE3,转变成出射角度不同的轴向SE、高角SE和低角SE。而按照角度进行分类之后,在实际探测信号时是完全可以对其进行区分的,我们会在之后的篇幅中对其进行详细的介绍。

石河子石河子蔡司石河子扫描电镜

  这样,我们现在可以总结一下几种类型SE的特点,如表2。

  很多人都用过场发射石河子扫描电镜,对样品室内SE探测器得到的低角SE2信号,与镜筒内SE探测器得到的高位SE1信号的图像对比会深有感触,很明显两者的立体感相差很大,见图5。

  图5. 低角SE图像(左)和高角SE图像(右)

  但是对镜筒内的SE信号再次拆解为高角SE和轴向SE可能会觉得很陌生,虽然前面我们已经对二者进行了介绍,但是毕竟不够直观。

  我们不妨看看图6,两张图都是使用镜筒内探测器获得,分辨率和立体感都很类似,总体效果非常接近,但是轴向SE(左图)受到小窗口聚焦碳沉积的影响,而同时获得的高角SE(右图)的碳沉积影响则轻微很多。

  图6. 轴向SE图像(左)和高角SE图像(右) 图7的样品为硅片上的二维材料,左图为高角SE图像,右图为轴向SE图像,轴向SE的灵敏度明显高于高角SE。

  图7. 硅片上的二维材料,高角SE图像(左)和轴向SE图像(右)

  图8的样品为绝缘基底上的二维材料,左图为高角SE图像,右图为轴向SE图像,可以看到轴向SE受到荷电的影响也要高于高角SE。

  图8. 绝缘基底上的二维材料,高角SE图像(左)和轴向SE图像(右)

  总结一下,我们将二次电子拆解成轴向、高角和低角三个不同的类型,它们没有优劣之分,均有自己的特点,有优点也有缺点。我们只有在实际操作时发挥出每种信号的优势,才能获得最适合的图像。

  好了,关于SE的分类相对比较简单,相信您已经完全理解,我们将在下一篇中详细说一下BSE。

  为了更好的理解这篇的内容,让我们通过几张SE图像来实际感受一下不同类型SE之间的差异吧!


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